薄膜堆疊結構如今廣泛被應用在各類半導體與顯示器結構當中，而微奈米尺度之薄膜材料其力學行為與傳統塊材有諸多相異之處。據此，本課程將針對薄膜材料在不同尺寸效應下的力學行為進行講述。結合破壞/非破壞性檢測方式以及基於連體與破壞力學理論之數值分析，可使授課學生瞭解薄膜堆疊結構引致之應力/應變、翹曲、脫層等力學行為解析與優化方法。