中正大學課程大綱
Nano Devices Processing and Analysis奈米元件製程與檢測
一、課程概述
課程概述:奈米元件相關之製程與分析檢測工具原理與實驗方法介紹
課程目標:使學生充分了解與熟悉各種奈米元件相關製程與分析檢測工具之理論原理
二、課程大綱說明文件奈米元件製程與檢測-丁初稷.pdf
三、教材編選
四、教學教法
五、評量工具
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