中正大學課程大綱
Semiconductor Equipment Component Process Integration Internship半導體設備元件製程整合實習
一、課程概述
本課程將介紹半導體元件的製程技術以及設備機台的實作操作。在本課程中,將詳細介紹積體電路之發展和製程的介紹。隨著全球對商業用電子元件以及晶片的大量需求,以及全球電腦和網絡運算的大量需求,半導體產業之發展也隨時代的推演而更加蓬勃。為此,本課程將提供學生針對半導體元件製程技術的相關製程以及設備操作技術。
目標:
學生將學習半導體元件的製程原理和技術以及半導體產業及相關材料的發展,包括元件製程、遮罩、蝕刻技術以及電晶體等電子元件的工作機制。
二、課程大綱說明文件114-1_半導體設備元件製程整合實習.pdf
三、教材編選
四、教學教法
五、評量工具
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